一个芯片如何感知你的每一次动作：MEMS传感器的物理原理与工程突围
1964年，西屋电气公司的Harvey Nathanson带领团队发明了一种名为"谐振栅晶体管"的器件。这枚指甲盖大小的芯片上，悬挂着一根微米级的金属悬臂，在电场驱动下以高频振动。这被公认为人类历史上第一个批量制造的MEMS（微机电系统）器件。六十年后的今天，一部智能手机中可能藏着十几个MEMS传感器，它们全天候工作，却几乎不消耗电量。当你把手机横过来时屏幕自动旋转，当你玩游戏时体感操作精准响应，当你拨打电话时屏幕自动熄灭——这些看似简单的功能背后，是一场持续半个多世纪的微型化革命。 ...